該設(shè)備光源采用進(jìn)口激光器，工作臺(tái)采用精密直線導(dǎo)軌配合直線電機(jī)及DD馬達(dá)，光柵尺自動(dòng)反饋系統(tǒng)，大大提升了工作臺(tái)的運(yùn)行速度、定位精度、重復(fù)定位精度等參數(shù)指標(biāo)。采用進(jìn)口專業(yè)控制板卡統(tǒng)一進(jìn)行運(yùn)動(dòng)及激光工藝的控制，以完成晶圓的切割和打孔加工生產(chǎn)過程。